小流量氣體質量流量計
日本KOFLOC
3200系列質量流量控制器-微小流量
應用于多個OEM設備場合，尤其適合微小流量測量
適用于燃氣低壓力、泄漏測試的低流量、半導體等使用
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
小流量氣體質量流量計
性能參數：
3200質量流量控制器
| 量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 響應時間 | 1秒以內 |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進口大壓力 | O.3Mpa |
| 動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
| 溫度范圍 | 5-45℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
| 材質 | 本體SUS316L |
| 密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路連接 | 標配1/4F9 |
| 選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
| 重量 | 約1000g |
使用注意
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
