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當(dāng)前位置：深圳市凈康科技有限公司>>質(zhì)控儀器>>分辨率測(cè)試卡>> MicroCT Bar Pattern NANO 分辨率測(cè)試模體
Type38分辨測(cè)試卡Type 81分辨測(cè)試卡
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 否 |
|---|
MicroCT Bar Pattern NANO 分辨率測(cè)試模體采用雙硅芯片相互垂直、通過(guò)塑料支架固定的設(shè)計(jì)理念，使兩個(gè)3 x 3 mm2芯片均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點(diǎn)狀圖樣，寬度和直徑從1µm到10µm不等。
MicroCT Bar Pattern NANO 分辨率測(cè)試模體納米顯微CT柱狀測(cè)試卡芯片上有一個(gè)傾斜的邊緣(字母“L"字樣)以及一個(gè)西門(mén)子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上，從而使用戶僅通過(guò)一次曝光和測(cè)量就可以對(duì)整個(gè)芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評(píng)估。
MicroCT Bar Pattern NANO 分辨率測(cè)試模體技術(shù)參數(shù)：
柱狀部分：
直徑：5.2 mm
總長(zhǎng)：19.1 mm
材料：致密塑料
芯片部分：
直徑：2.96 mm
總長(zhǎng)：0.66 mm
材料：硅
芯片上圖樣尺寸范圍：1µm至10µm
圖樣深度：5µm至15µm
對(duì)比材料：硅/空氣
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展，我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO！
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡 | |
| 基礎(chǔ)材料： | 固體塑料（切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm） |
| 模體直徑： | 5.2毫米 |
| 高度： | 19毫米 |
| 硅芯片的措施： | 3 x 3 x 0.66毫米 |
| 芯片上的結(jié)構(gòu)（分辨率）： | 分別為1至10 µm。500至50 LP / mm |
| 芯片材質(zhì)： | 硅 |
| 圖案對(duì)比 | 硅/空氣 |
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