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氣體質(zhì)量流量控制器,美國艾博格AALBORG

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更新時間：2018-05-15 17:28:38瀏覽次數(shù)：2911次

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上海實華儲運設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

氣體流量控制器因有控制器精度高，重復(fù)性好，反應(yīng)速度快。它適合半導(dǎo)體，CVD，擴散，真空鍍膜，色譜、光纖熔煉，分析儀器，燃料電池，液晶屏，有機EL,生物工程，等離子蝕刻，環(huán)境測試，燃燒氣體控制，試驗設(shè)備，焊接，微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個環(huán)節(jié)、各個制造過程中的流量控制。

詳細介紹

氣體質(zhì)量流量控制器,美國艾博格AALBORG進口氣體質(zhì)量流量控制器
操作原理：
被測氣體分別流經(jīng)兩個層流區(qū)，一路通過主流量管道，另一路通過毛細測量管。兩個管路的設(shè)計保證流體處于層流狀態(tài)，因此兩個管路流量比是恒定的。兩精密的溫度感應(yīng)繞組在測量管上被加熱，當(dāng)有流量產(chǎn)生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關(guān)系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。根據(jù)被測氣體的質(zhì)量流量，輸出0-5 V D C或者4-20mA信號。經(jīng)過兩個層流區(qū)的氣體混合后流過具有特定孔徑的電磁比例閥，質(zhì)量流量測量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng)，使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會影響流量測量值。

概述：
GFC/GFM系列用于測量/控制氣體質(zhì)量流量。本品外殼堅固耐用，精確度高，是一款多功能而且經(jīng)濟實用的流量測量產(chǎn)品?？蛇x鋁或不銹鋼外殼，可選顯示工程單位（標(biāo)準(zhǔn)）或百分比。外形設(shè)計包括一個置于傳感器頂部的LCD顯示模塊，這個顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數(shù)。它用一個標(biāo)準(zhǔn)插頭與傳感器連接，也可以分開獨立安裝。OEM的應(yīng)用可提供無LCD顯示的產(chǎn)品。GFC/GFM質(zhì)量流量控制、質(zhì)量流量計的測量范圍是10sccm到1000sL/min（N2）；用1/4"，1/8"，3/8"和1/2"卡套螺紋或3/4"FNPT連接，可選其他連接方式。該儀表可以作為臺式設(shè)備或者用螺絲在平板上固定。電源電路采用保險絲和極性保護設(shè)計。

性能特征：
品牌：美國艾博格Aalborg（成立于1982年，專業(yè)從事質(zhì)量流量計研發(fā)和生產(chǎn)）
精確度（包括線性度）：±1.5 %滿量程；±1%滿量程（標(biāo)定精度）在給定的溫度與壓力值下。
重復(fù)性：±0.5%滿量程（另外配有高精度系列）
量程范圍：0-1000升/分鐘
響應(yīng)時間：在滿量程25-范圍內(nèi)，2秒鐘內(nèi)達到2%精度。
溫度系數(shù)：0.15%滿量程/℃
壓力系數(shù)：0.01%滿量程/psi（0.07bar）
氣體和周圍溫度：32 F -122 F （5℃-50℃）
產(chǎn)品耐壓：100L以下70公斤，100-1000L耐壓34.5公斤
輸出信號：線性度0-5Vdc,4-20MA（另外配有數(shù)字信號DFCAFC系列）
輸入信號：線性度0-5Vdc,4-20MA（另外配有數(shù)字信號DFCAFC系列）
電源：+12 Vdc ；zui大200ohms。+24Vdc可選
時間恒量：800ms
氣體壓力：zui大1000 psig（70bar）。*20 psig（1.4bar）
流體接液材質(zhì)：A：GFM鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B：GFM17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)、可選氯丁橡膠圓環(huán)。
安裝：水平、垂直
連接：GFC/GFM17和37：1/4"卡套螺紋
      VCR或1/8" 卡套螺紋可選（GFM17）
      GFC/GFM47：3/8" 卡套螺紋
      GFC/GFM57：3/8" 卡套螺紋
      GFC/GFM67：1/2" 卡套螺紋
      GFC/GFM77：3/4" 卡套螺紋
      VCR或3/4" 卡套螺紋可選（GFM77）