《真空技術(shù) 真空計(jì) 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度》征求意見

　　【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，由蘭州空間技術(shù)物理研究所 、蘭州文理學(xué)院等單位起草，TC18(全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會)歸口的國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《真空技術(shù) 真空計(jì) 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度》征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。
 

　　高真空環(huán)境是航空航天、核工業(yè)、半導(dǎo)體、高端裝備制造等領(lǐng)域發(fā)展的重要保障，高真空測量精度直接決定了以上領(lǐng)域技術(shù)的快速發(fā)展，在該壓力范圍，國際公認(rèn)的溯源/傳遞標(biāo)準(zhǔn)為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。國內(nèi)尚沒有關(guān)于磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)校準(zhǔn)方法、規(guī)范、測量不確定度等的完整、統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)的起草將填補(bǔ)這一空白，為高真空范圍量值的準(zhǔn)確可靠傳遞奠定基礎(chǔ)。
 

　　本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布實(shí)施，可確保產(chǎn)品的安全性、可靠性和穩(wěn)定應(yīng)用性，有效解決高真空范圍真空量值準(zhǔn)確、可靠傳遞的難題。通過規(guī)定磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的通用術(shù)語、制造商應(yīng)給出的參數(shù)以及使用時(shí)應(yīng)該考慮的測量不確定度等內(nèi)容，對規(guī)范市場、指導(dǎo)生產(chǎn)、提高產(chǎn)品的技術(shù)性能，提高磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的全生命周期內(nèi)的可靠性，更好地滿足市場和使用需要，提升我國磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的技術(shù)水平，滿足我國航空航天、半導(dǎo)體、大科學(xué)工程等領(lǐng)域?qū)φ婵樟恐邓菰礈?zhǔn)確性日益提高的應(yīng)用需求具有十分重要的作用。也為計(jì)量機(jī)構(gòu)的校準(zhǔn)及使用單位的實(shí)際使用提供了技術(shù)支撐。
 

　　本文件按照GB/T 1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件等同采用ISO 24477:2022《真空技術(shù) 真空計(jì) 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度》。
 

　　本文件起草單位：蘭州空間技術(shù)物理研究所、東北大學(xué)、蘭州文理學(xué)院、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司、北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國計(jì)量學(xué)科研究院、中核第七研究設(shè)計(jì)院有限公司、合肥工業(yè)大學(xué)、沈陽匯真真空技術(shù)有限公司。
 

　　本文件界定了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)(SRGs)相關(guān)的術(shù)語，規(guī)定了SRGs所需參數(shù)，詳細(xì)描述了在使用這些真空計(jì)時(shí)的校準(zhǔn)步驟和所需不確定度分量。本文件適用的壓力上限為2Pa。
 

　　校準(zhǔn)不確定度：
 

　　應(yīng)按照 ISO 27893 來評估 SRG 的校準(zhǔn)不確定度。
 

　　校準(zhǔn) SRG 不確定度的各貢獻(xiàn)分量如下：
 

　　— 標(biāo)準(zhǔn)壓力的不確定度；
 

　　— 測量 RD 的不確定度；
 

　　— RD 的漂移；
 

　　— 示值的標(biāo)準(zhǔn)偏差；
 

　　— 外推至零點(diǎn)壓力的不確定度；
 

　　— 氣體純度；
 

　　— 溫度。
 

　　校準(zhǔn)證書：
 

　　應(yīng)按照 ISO 3567 編制 SRG 的校準(zhǔn)證書。
 

　　如果校準(zhǔn)的是讀數(shù)誤差，建議給出讀數(shù)相對誤差。
 

　　如果按照 8.2.3 的步驟進(jìn)行校準(zhǔn)，可給出修正公式(8)。
 

　　應(yīng)給出校準(zhǔn)時(shí)在控制單元內(nèi)輸入的轉(zhuǎn)子直徑和密度值。
 

　　宜給出校準(zhǔn)時(shí)的殘余阻尼或偏置。
 

　　使用時(shí)的測量不確定度：
 

　　如果測量低于 10 mPa 的壓力，宜在低于 SRG 分辨率極限的殘余壓力下測定 RD 及其與頻率的相關(guān)性 RD(ω)。SRG 分辨率用殘余阻尼的標(biāo)準(zhǔn)偏差表示。在低于 10 mPa 壓力的測量過程中，宜記錄ω，并減去相應(yīng)的 RD(ω)。
 

　　雖然某些測量不確定度分量在校準(zhǔn)過程中不重要，但在以后實(shí)際應(yīng)用過程中會產(chǎn)生影響，例如：作為標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)時(shí)。
 

　　下面大致列出了一些測量不確定度的來源，作為對 8.3 的補(bǔ)充：
 

　　— 長期不穩(wěn)定性；
 

　　— 環(huán)境溫度漂移及測量；
 

　　— 真空計(jì)接觸的氣體的潔凈程度；
 

　　— 氣體成分和氣體種類。
 

　　更多詳情請見附件。