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          半導體所牽頭制定的《石墨烯薄膜層數測量:拉曼光譜法》國際標準正式發布

          行業標準 2025年10月16日 09:10:39來源:中國科學院半導體研究所 21287
          摘要石墨烯薄膜的層數是石墨烯相關材料最核心、最基礎的物理性能參數之一,其表征方法的構建與標準的制定是石墨烯材料研發、精準制備和應用的重要基石。

            【儀表網 行業標準】近日,國際電工委員會納米電工產品與系統技術委員會(IEC/TC 113)正式發布國際標準IEC TS 62607-6-28:2025 Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-28: Graphene-related products - Number of layers for graphene films on a substrate: Raman spectroscopy(納米制造 - 關鍵控制特性 - 第6-28部分:石墨烯相關產品 - 基底上石墨烯薄膜的層數:拉曼光譜法)。該標準由中國科學院半導體研究所譚平恒研究團隊牽頭提案并組織編制,國家納米科學中心、深圳市標準技術研究院以及來自德國、日本、韓國的專家參與制定工作。
           

           
            石墨烯薄膜的層數是石墨烯相關材料最核心、最基礎的物理性能參數之一,其表征方法的構建與標準的制定是石墨烯材料研發、精準制備和應用的重要基石。該標準基于譚平恒研究團隊原創性的前沿科學研究成果和具有自主知識產權的專利技術,在國際標準中建立單獨使用拉曼光譜法檢測石墨烯薄膜層數的技術規則和檢測標準。該標準提供了兩種獨立的標準化方法,分別是基于石墨烯薄膜拉曼光譜中的2D模線型(方法A,適用5層以內AB堆垛的石墨烯薄膜)和石墨烯薄膜覆蓋下SiO2/Si襯底的硅拉曼模峰高(方法B,適用10層以內AB和ABC堆垛的石墨烯薄膜)與層數之間的對應關系,對石墨烯薄膜的層數進行精準判定和交叉驗證,進一步提高了復雜樣品的檢測可靠性。相比于現行國際標準中需使用多種檢測手段結合的方法,該標準僅使用常規拉曼光譜儀即可完成,測量步驟簡單清晰、提高了檢測效率和可操作性。
           
            同時,該標準突破了現行國際標準中僅適用于5層以內石墨烯薄膜的局限性,將層數檢測范圍拓展到了10層,擴寬了應用范圍,為石墨烯產品和相關科學研究提供了科學可靠的參考和技術指導,有助于提高石墨烯產品質量,降低生產、檢驗和人工成本,易于推廣實施,規范市場秩序,引導產業健康發展。

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