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						摘要上海微系統(tǒng)所狄增峰、田子傲團隊開發(fā)的面向二維集成電路的單晶金屬氧化物柵介質(zhì)晶圓研究成果入選“Chip 2024中國芯片科學(xué)十大進(jìn)展”。
					
          
					
          
						
          　　【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】10月15日，第三屆芯片大會暨Chip 2024中國芯片科學(xué)十大進(jìn)展頒獎典禮于深圳盛大開幕，在深圳市領(lǐng)導(dǎo)、院士嘉賓、產(chǎn)學(xué)研各界1500人見證下，Chip期刊正式發(fā)布「Chip 2024中國芯片科學(xué)十大進(jìn)展」及「Chip 2024中國芯片科學(xué)十大進(jìn)展提名獎」。
           
          　　上海微系統(tǒng)所狄增峰、田子傲團隊開發(fā)的面向二維集成電路的單晶金屬氧化物柵介質(zhì)晶圓研究成果入選“Chip 2024中國芯片科學(xué)十大進(jìn)展”。
           
          　　該研究團隊開發(fā)了一種創(chuàng)新的金屬插層氧化技術(shù)，技術(shù)的核心是室溫下精準(zhǔn)操控氧原子逐層嵌入鋁晶格，形成有序單晶氧化鋁。該材料即便僅1納米厚，仍能保障電子傳輸穩(wěn)定、阻止電流泄漏，可顯著提高芯片能效。
          
						
					
          
				
          
										
						
                
				
          
				
              
			  
                    
          
                    
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